结论
溅射功率为210 W，衬底温度120 ℃，溅射时间20 min时，在AlMn合金上制备的IT0薄膜主要生成In203、InxSnyOz、InAIMn04、MnSn03等物相，薄膜与基体结合良好，薄膜纳米晶粒细小。制备上IT0薄膜后，AlMn合金显微硬度提高，并且具备一定的耐磨损和耐腐蚀能力。
参考文献：
[1] ZHU Z，STARINK M J．Solution strengthening and age hardening capability of Al-Mg-Mn alloys with small additions of Cu[J]．Materials Science and Engineering：A，2008，488(1／2)：125-133．
[2] YAZDZAD A R，SHAHRABI T，HOSSEINI M G．Inhibition of 3003 aluminum alloy corrosion by propargyl alcohol and tartrate ion and their synergistic effects in 0．5％NaCl solution[J]．Materials Chemistry and Physics，2008，109(2／3)：199-205．
[3] CHIU L H，CHEN C C，YANG C F．Improvement of corrosion properties aluminum-sprayed AZ31 magnesium alloy by a post-hot pressing and anodizing treatment[J]．Surface and Coatings Technology，2005，191(2／3)：181．187．
[4] MATTOX D M．Ion plating-past，present and future[J]．Surface and Coatings Technology，2000，133／134：517-521．
[5] SINGH K，LIMAYE P K，SONI N L，et al．Wear studies of(Ti-Al)N coatings deposited by reactive magnetron sputtering[J]．Wear，2005，258 (11／12)：1813-1824．
[6] SCHAF"ER H，STOCK H R．Improving the corrosion protection of aluminium alloys using reactive magnetron sputtering[J]．Corrosion Science，2005，47(4)：953-964．
[7] 岳锡华，赵屹，张维佳．IT0透明导电膜的制备及性能[J]航空学报，1996，17(1)：57．63．
[8] VINK T J，WALRAVE W，DAAMS J L C，et al．On the homogeneity of sputer-deposited ITO films--Part l：Stress and microstructure[J]．Thin Solid Films，1995，266(2)：145-151．
[9] GOTMAN l，KOCZAK M J，SHTESSEL E．Fabrication of Al matrix in situ composites via self-propagating synthesis[J]Materials Science and Engineering，1994，1 87(2)：1 89-1 99．
[l0] 徐哲．舰船燃机压气机叶片防护涂层制备及其耐蚀耐磨性能研究[D]．哈尔滨：哈尔滨工程大学，2006．
[编辑：吴定彦]
