【专利号(申请号)】02146737.4
【公开(公告)号】CN1451788
【申请人(专利权)】株式会社山本镀金试验器
【申请日期】2002-11-4 0:00:00
【公开(公告)日】2003-10-29 0:00:00
本发明提供一种用于电镀测试器的阴极卡盘，该阴极卡盘N包括：阴极导体10，它使作为待镀物的硅晶片W的待镀表面Wa导电；第一绝缘体20，它覆盖硅晶片W的正面(待镀表面Wa)并保持阴极导体10；以及第二绝缘体30，它覆盖硅晶片W的背面(与待镀表面Wa相反的面)并保持硅晶片W。除硅片W的待镀表面Wa以外的阴极部分用嵌入第一绝缘体20的第一O形环22和嵌入第二绝缘体32的第二O形环32与电镀液隔开。
