化学气相蒸镀的限制

1) 反应需要挥发性化合物，不适用于一般可电镀的金属，因其缺少适合的反应物，例如：锡、铅、锌、金。

2) 需可形成稳定固体化合物的化学反应。如：硼化物、碳化物、氮化物、氧化物及硅化物等。

3) 因为有剧毒物质的释放，腐蚀性的废气及沉积反应需适当控制，故需要一个封闭系统。

4) 需要高能量-可能造成基材变形，(可藉由PACVD制程来改善)。

5) 某些反应物价格昂贵。

6) 反应物的使用率低-制程中，反应常受到沉积反应平衡常数的限制。