1) 加热型化学气相蒸镀
传统的化学气相沉积，必须藉由加热提供起始的化学反应。
i) 基材加热：阻抗加热(适用导电性基材)，热感应加热，雷射加热，热板，辐射加热(例如，炉管)
ii) 灯丝加热：例如，在基材上方并设在反应气体流动路径上的钨丝。
2) 电浆辅助化学气相蒸镀
(PACVD或PECVD，电浆促进化学气相蒸镀)由电浆激发提供起始化学反应的能量;不需加热基材且不影响基材的材料性质。
3) 光激发化学气相蒸镀
由紫外光或雷射光提供反应所需的能量。
4) 金属有机物化学气相蒸镀
主要应用于III-V族， II-VI族的化学气相蒸镀。
