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化学气相蒸镀的基本反应型态

放大字体  缩小字体 发布日期:2012-05-11  浏览次数:356   关注:加关注
核心提示:1) 分解反应MeX-----Me + X(加热)Ni(CO)4 -----Ni + 4 CO2) 还原反应i) 利用氢气还原卤化物,以生成纯元素镀层。2 MeX + H2-----

1) 分解反应

MeX----->Me + X(加热)

Ni(CO)4 ----->Ni + 4 CO

2) 还原反应

i) 利用氢气还原卤化物,以生成纯元素镀层。

2 MeX + H2----->2 Me + 2 HX, (加热)

SiCl4 + H2 ----->Si + 4 HCl

ii) 利用氢气还原卤化物之同时也通入含B、C、N2、O2,以生成金属化合物。

3) 取代反应

MexX4 + 2 H2 + Mey-----> Mex - Mey + 4 HX,(加热)

(CH3)2Cd + H2Se -----> CdSe + 2 CH4

i) 非对称反应

3 MeX ----->2 Me + MeX3 ,

(使价数高的状态因过冷而在低温时保持稳定)

ii) 聚合反应 )L l E X O利用紫外光、电子束或辉光放电

n M ----->(M)n

钻石薄膜沉积(H2、CH4、C2H6、C2H4等)

C + CH3----->C-CH3 or C-H + CH2 -----> C-CH3

or

C-H + H ----->C + H-H

C-H + CH3----->C + HCH3

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