王福贞(深圳豪威多弧离子镀科技有限公司，广东深圳 518057)
介绍了几种沉积氮化钛涂层的新技术。利用辅助磁场消除多弧离子镀沉积氮化钛膜层中的熔滴，细化膜层组织;安装平面大弧源和柱状弧源的多弧离子镀膜机，使多弧离子镀膜机结构简化、操作简便;采用非平衡磁控溅射源扩展了镀膜室内等离子体范围，有利于磁控溅射沉积氮化钛超硬涂层。
1、前言
氮化钛膜作为超硬涂层用于提高工模具的使用寿命的历史已经有2-余年。目前，能够进行产业化沉积氮化钛涂层的沉积技术主要有三极磁控溅射、活性反应离子镀、空心阴极离子镀、热丝弧离子镀、多弧离子镀。在这些沉积技术中以多弧离子镀的金属离化率最高、金属离子流密度最高，最容易获得氮化钛等化合物涂层。
由于多弧离子镀技术已经成为沉积氮化钛超硬涂层的重要技术，因此大家对它的研究、改进做了大量工作。
2、消除熔滴、细化膜层组织
2.1 在靶面附近设直线型磁场 2.2 在靶面附近设偏转型磁场
3、简化多弧离子镀膜机结构
3.1 矩形平面大弧源多弧离子镀膜机 3.2 柱状弧源多弧离子镀膜机
4、新型非平衡磁控溅射离子镀膜机
4.1 平衡磁控溅射 4.2 非平衡磁控溅射
