表面电阻现在已经普遍采用表面电阻测试仪进行测量，这种商业化的仪器可测量样件表面电阻及样件接地电阻；电阻值可以采用数量级方式显示；其测量范围约为100～1000Ω。但是其测量的原理，无非是直接测量法和电桥测量法。
直接测量法比较简单，是在被测表面取两个点，然后用万用表测试两个点之间的阻值，只适合于表面阻值较高的绝缘性表面，而电桥法则是比较通用的方法。
电桥法也叫惠斯登电桥法，其测试原理图如图2-6所示。
测量时，调节RA、RB使电桥平衡，也就使流过检流计中的电流为零，此时有：
Rx=RBRN／RA
图2-6 惠斯登电桥法测量原理
1-电源; 2-开关；3-电压表；4-十进制可调标准电阻RB;
5-试样电阻Rx;6-检流计，7-十进制可调标准电阻RA；8-标准电阻RN
惠斯登电桥测量电阻时，一般用于测量10120以下的电阻，并且，无法观察电化电流随时间变化的情形。
