电子探针显微分析法(EPMA)是用于材料微区化学成分分析的一种较好的方法。因此在材料及其保护的研究中经常用到。利用电子探针X射线显微分析，可对原子序数12～92的元素进行所需要的分析。
电子探针分析有三种方式。
①微区全谱扫描 对样塌表面选取定一个微区，作定点的全谱扫描，进行定性或半定量的分析。并可以对其材料中所含元素的浓度做定量分析。这无论是对合金镀层成分的分析还是基体合金组成的分析都是有用的。
②直线扫描 电子束沿样品表面选定的直线做所含元素浓度的扫描分析，这可以对样品的合金分布和组织的均匀性做出定量的判断。
③表面扫描 电子束在样品表面做扫描，以特定元素的X射线信号调制阴极射线管荧光屏的亮度，给所测定元素在合金组织中浓度分布的扫描图像。
电子探针分析可以将屏幕所显示的结果打印出相应的图谱。通过图谱上各元素在不同波长上的特征反射峰值的强弱(大小)，可以定量地计算所在组织中所占的比例。从而达到定性的同时得到定量的结果。
