钴基合金化学镀液以及使用该化学镀液的化学镀法

公开号 101336309

公开日 20081231

申请人 LG化学株式会社

地址 韩国首尔

本发明提供一种钴基合金化学镀液，其包含钴前驱体、钨前驱体、磷前驱体、还原剂、配位剂、pH调节剂和稳定剂。其中，所述还原剂为二甲胺硼烷(DMAB)或氢硼化物，所述稳定剂选自咪唑、噻唑、三唑、二硫化物及其衍生物中的一种或多种化合物。描述了使用所述钴基合金化学镀液的化学镀法，和通过该法制备的薄膜。所述钴基合金镀液在长期重复使用的过程中足够稳定，且通过抑制沉淀生成，避免金属薄膜质量的劣化。