摘要： 针对磁电层合式磁传感器Q值低的问题，提出一种磁性薄膜与石英音叉复合的磁传感器结构，通过检测音叉谐振频率变化量或Q值变化量，达到检测静磁场的目的。采用有限元方法对磁性薄膜的位置进行了设计和仿真，发现薄膜复合于音叉侧臂顶部有最灵敏的磁场探测能力，并进行了实验验证。实验结果表明：敏感结构在零偏置磁场时Q值为2000左右，在静磁场作用下，谐振频率最大灵敏度为9.233Hz/mT，Q值最大灵敏度为119.471/mT;谐振频率分辨率为0.1Hz，石英音叉谐振频率稳定度为20ppm时，该结构磁传感器对磁场的分辨率为10-5T;Q值分辨率为1，石英音叉Q值稳定度为20ppm时，该结构磁传感器对磁场的分辨率为10-6T，高于测量谐振频率。即，测量Q值变化量来检测磁场的方式更优。
