该院在首台国产真空阴极电弧沉积设备上完成了氮化钛成膜工艺研究，优选出氮化钛装饰仿金膜和超硬耐磨典型工艺，质量优良稳定，重复性好。装饰膜工艺用于批量生产，经济效益显著。超硬膜工艺用于镀直柄麻花钻氮化钛镀层，Hv>2000，钻削寿命达16.76米，提高6.7倍，达到引进国外同类设备与技术的水平，对Cr12钢精冲模具镀氮化钛膜，寿命可提高5倍，属国内领先。镀层型腔径深比达1：3，突破国外推荐1：1的限制。该成果在国内外率先用俄歇谱测定膜/基残留氧量来判定电弧离子轰击清洗效果，并据此确定了临界偏压，此外，适当增高氮分压可有效抑制电弧沉积过程中“钛滴”喷溅，已用于生产。以上两点在工艺机理研究上有所创新，氮化钛镀层钻头等已批量生产，大部分产品供出口创汇。
完成单位：广州有色金属研究院
邮政编码：510651
成果类别：应用技术
成果水平：国内领先
限制使用：国内
成果密级：非密
鉴定日期：19910421
应用行业：金属表面处理及热处理加工
转让方式：工程设计、培训、咨询、来料加工
分类号：TQ153.19
