(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 102618839 A _(43)申请公布日2012.08.01
(21)申请号 201210078065. 9
(22)申请日 2012. 03. 22
(71)申请人威海金博新能源科技有限公司 地址264205山东省威海市经区环山路西9号
(72)发明人张浙军
(74)专利代理机构沈阳智龙专利事务所(普通 合伙)21115
代理人宋铁军周智博
(51) Int. Cl.
C23C 14/56(2006. 01)
C23C 16/54(2006. 01)
权利要求书1页说明书2页附图1页
(54)发明名称
卷对卷连续真空镀膜生产机
(57)摘要
本发明提供一种卷对卷连续真空镀膜生产 机，其特征在于：该生产机包括真空放卷室、生产 线主体和真空收卷室，真空放卷室连接生产线主 体，生产线主体连接真空收卷室，在真空放卷室与 生产线主体之间以及生产线主体与真空收卷室之 间均设置有真空隔离阀门。本发明很好的克服了 现有技术不足，其大大提高了生产效率，扩大了产 能，降低了成本，利于推广应用。
1.卷对卷连续真空镀膜生产机，其特征在于：该生产机包括真空放卷室(1)、生产线主 体(3)和真空收卷室(4)，真空放卷室(1)连接生产线主体(3)，生产线主体(3)连接真空收 卷室(4)，在真空放卷室(1)与生产线主体(3)之间以及生产线主体(3)与真空收卷室(4) 之间均设置有真空隔离阀门(2)。
2.根据权利要求1所述的卷对卷连续真空镀膜生产机，其特征在于：真空隔离阀门(2) 设置一个或多个。
3.根据权利要求1所述的卷对卷连续真空镀膜生产机，其特征在于：真空隔离阀门(2) 连接真空系统、充气系统和电控系统。
卷对卷连续真空镀膜生产机
技术领域
[0001] 本发明用于卷对卷真空设备领域，尤其涉及一种卷对卷连续真空镀膜生产机，适 于柔性基材卷对卷真空镀膜生产，其可以改善设备利用率，提高产能。
背景技术
[0002] 现有卷对卷真空镀膜生产线(机)多为单室分部和多室结构，尽管这种生产设备结 构简单，价格较低，生产效率、产能亦可，但还存在以下不足之处，当镀膜设备每完成一个镀 膜生产过程，必须对整个真空设备真空室放大气，破坏真空，取出镀制好的基材再装入要镀 膜的新基材卷，重新恢复真空时间较长，耗能较多，影响生产效率，成本较大。
发明内容
[0003] 发明目的：本发明提供一种卷对卷连续真空镀膜生产机，其目的是解决以往的设 备生产周期长、耗能大、成本高和效率低的问题。
[0004] 技术方案：本发明是通过以下技术方案实现的：
卷对卷连续真空镀膜生产机，其特征在于：该生产机包括真空放卷室、生产线主体和真 空收卷室，真空放卷室连接生产线主体，生产线主体连接真空收卷室，在真空放卷室与生产 线主体之间以及生产线主体与真空收卷室之间均设置有真空隔离阀门。
[0005] 真空隔离阀门设置一个或多个。
[0006] 真空隔离阀门连接真空系统、充气系统和电控系统。
[0007] 优点及效果：本发明提供一种卷对卷连续真空镀膜生产机，其特征在于：该生产 机包括真空放卷室、生产线主体和真空收卷室，真空放卷室连接生产线主体，生产线主体连 接真空收卷室，在真空放卷室与生产线主体之间以及生产线主体与真空收卷室之间均设置 有真空隔离阀门。
[0008] 卷对卷真空镀膜生产线真空隔离阀门设置于真空镀膜生产机真空放卷室与生产 线主体及生产线主体与真空收卷室之间，当镀完一卷柔性基材后，先关闭真空隔离阀门，使 卷对卷镀膜生产线主体(工艺镀膜室)部分保持住一定的真空，只对真空放卷室、真空收 卷室放大气，破坏真空，当取出镀制好的基材后，再放入需镀膜的新卷基材，待真空收卷室、 放卷室抽真空到一定真空后，打开真空隔离阀门，以实现对整个生产线(机)的快速抽真空。 上述收卷室、放卷室、真空工艺镀膜室等部分均为真空室体，同时本发明还分别配有真空系 统，充气系统、传输系统和电控系统等辅助装置。
[0009] 本发明优点是：当镀制完一卷基材后，可通过关闭真空隔离阀门保持住镀膜生产 线主体也就是真空工艺镀膜室部分的真空，使真空工艺镀膜室保持在较好的真空状态，当 更换好新基材卷后，先对真空收卷室、放卷室抽空，达一定真空后，打开真空隔离阀门，再对 整条生产机进行抽气，以实现快速高效，高产节能，降成本之功效。
[0010] 附图说明：
图1为本发明的结构示意图。
[0011] 具体实施方式：下面结合附图对本发明做进一步的说明：
如图1，本发明提供一种卷对卷连续真空镀膜生产机，该生产机包括真空放卷室1、生 产线主体3和真空收卷室4，真空放卷室1内设置有放卷装置，真空收卷室4内设置有收卷 装置，真空放卷室1连接生产线主体3，生产线主体3连接真空收卷室4，在真空放卷室1与 生产线主体3之间以及生产线主体3与真空收卷室4之间均设置有真空隔离阀门2。生产 线主体3也是真空工艺镀膜室。
[0012] 真空隔离阀门2连接真空系统、充气系统和电控系统。。
[0013] 每一部分功能如下：
真空放卷室(含放卷装置)1 :用来装载要镀制的基材，并提供所需的真空环境。
[0014] 真空隔离阀门2 :用来隔离相邻真空室的真空环境。
[0015] 生产线主体(也是真空工艺镀膜室)3 :为完成镀膜工艺所配套的不可或缺的主体 部分，可以是不同类型的多种镀膜。
[0016] 真空收卷室(含收卷装置)4 :用来装载已镀制的基材，并提供所需的真空环境。
[0017] 真空系统、充气系统、传输系统和电控系统等辅助装置：为保证完成镀膜工艺所配 置的辅助装置。真空系统用于抽真空，充气系统用于破坏真空。
[0018] 本发明工作流程如下：
第一卷基材装入本发明的生产机后，卷绕好整个传输系统，将生产机整体抽空到一定 真空，按要求镀制完第一卷基材，停止镀膜，关闭真空隔离阀门，真空隔离阀门的开闭可以 使用电控系统控制，对真空收卷室、放卷室放大气破坏真空，取出镀制好的基材，然后继续 装入新卷基材，新卷基材也是装入真空放卷室1内，然后对真空收卷室和真空放卷室抽真 空，达一定真空后，再打开真空隔离阀门，对整个生产机进行抽真空，达所要求真空后，对新 卷基材进行镀膜。当继续下一卷镀膜时，再重复上述镀制过程。所要求的真空可根据不同 的需要制定数值，例如可以是2X10E-2托。
[0019] 本实施例中，①可根据真空镀膜不同工艺要求，可以是蒸发，溅射等不同镀膜工艺 类型;②本发明所述设置的真空隔离阀门可以是一个或多个，也可以是不同类形和不同结 构型式的真空阀门，相关真空室、生产线主体(真空工艺镀膜室)数量不限;③各真空室可 以按需要配置不同类型、型号的真空泵组成真空系统，以满足工艺要求;④本发明可用于所 有柔性基材卷对卷镀膜生产的不同领域，如太阳能电池、太阳光谱选择性吸收涂层(蓝膜)、 IT0镀膜等各种形式卷对卷真空镀膜生产线(机)应用中;⑤各组成部分既可以是一条直线 式配置(制)，也可以是其他形式的配置。
[0020] 本发明很好的克服了现有技术不足，其大大提高了生产效率，扩大了产能，降低了 成本，利于推广应用。
