摘要
本发明为一种高真空蒸发双面金属化镀膜机， 包括由卷绕室、镀膜室和网络板组成的真空室，由 扩散泵、罗茨泵、滑阀泵及阀门组成第一抽真空系 统和冷阱式的第二抽真空系统以及蒸发源，所述的 第二抽真空系统釆用非冷凝捕集泵，是由滑阀泵、 罗茨泵、二个增压泵和阀门依次串联连接，二个增 压泵相互并联，然后与上述其他元件串联连接，组 成第二抽真空系统。其特征在于：所述的传膜机构 由二并列的主轴和导向轴、展平轴、放卷轴和收卷 轴组成，都安装在传膜架机箱上，主轴中下方放置 蒸发源，膜从放卷轴到收卷轴的传动，能使膜的双 面镀上金属膜。本发明的有益效果是：克服了现有 技术只能单面镀膜的不足，实现了双面镀膜，极大 地提高了国内电子器材、包装材料的等级和水平， 同时提高了工作效果，本发明的应用具有明显的社 会效益和经济效益。
1. 一种高真空蒸发双面金属化镀膜机，包括卷绕室(16)、镀膜室(19)和网络板(20)组成 的真空室(6)，扩散泵(7)、阀门(10)、罗茨泵(11)、(9)、滑阀泵(8)组成第一抽真空 系统和冷阱式的第二抽真空系统以及传膜机构(5)和蒸发源(17)，所述的第二抽真空系 统采用非冷凝捕集栗，是由滑阀栗(15)、罗茨泵(14)、二个增压栗(12)和(13)、阀门(10-1) 依次串联连接，二个增压泵相互并联，然后与上述其他元件串联连接，组成第二抽真 空系统，第二抽真空系统接通真空室，其特征在于：所述的传膜机构由二并列的主轴 (5-1)和导向轴(5-5)、展平轴(5-2)、放卷轴(5-3)和收卷轴(5-4)组成，都安装在传膜架机 箱(4)上，主轴中下方放置蒸发源(17),膜从放卷轴到收卷轴的传动，能使膜的双面镀 上金属膜。
2.根据权利要求1所述的髙真空蒸发双面金属化镀膜机，其特征在于：膜的双面金属镀 膜可为一种或二种或二种以上。
高真空蒸发双面金属化镀膜机
一、技术领域：
本发明涉及一种真空镀膜机，特别是公开一种高真空蒸发双面金属化镀膜机，应用于 电子元器件、包装材料的镀膜。
二、背景技术：
目前，国内市场的真空镀膜机，基本上采用真空蒸发、溅射、离子等方式进行真空镀 膜，一般只能在塑料薄膜上镀铝，几乎没有真空镀膜设备进行锌、铝镀膜，锌铝真空镀膜 国产设备很少，国外进口的锌铝真空镀膜机价格昂贵，采用冷凝捕集泵俗称冷阱式作为第 二套抽真空系统，由于该结构工艺复杂、制造成本高，使用效果差，形成系统的运行成本 过高。专利号：03116389.0，名称为：一种锌铝真空蒸发锻膜机，虽然能在非导电介质薄 膜上进行真空锌铝蒸发镀膜，但无法在非导电介质薄膜上实现高真空蒸发双面金属化镀 膜，难以适应现代化建设中的高科技项目或现有产品的升级换代。
三、发明内容：
本发明公开一种高真空蒸发双面金属化镀膜机，目的在于对现有技术的锌铝真空镀膜 机加以改造。本发明是这样实现的：一种锌铝真空蒸发银膜机，包括由卷绕室16、镀膜室 19和网络板20组成的真空室6，由扩散泵7、罗茨泵11、9、滑阀泵8及阀门10组成第一抽真 空系统和冷阱式的第二抽真空系统以及以及传膜机构(5)和蒸发源(17),所述的第二抽真空 系统采用非冷凝捕集泵，是由滑阀泵15、罗茨泵14、二个增压泵12和13、阀门10-1依次串 联连接，二个增压泵相互并联，然后与上述其他元件串联连接，组成第二抽真空系统，第 二抽真空系统接通真空室。其特征在于：所述的传膜机构由二并列的主轴5-1和导向轴 5-5、展平轴5-2、放卷轴5-3和收卷轴5-4组成，都安装在传膜架机箱4上，主轴中 下方放置蒸发源17，膜从放卷轴到收卷轴的传动，能使膜的双面镀上金属膜。
本发明的有益效果是：不仅组成的真空室中的第二抽真空系统取代了冷凝捕集泵，克 服了现有技术中制造成本和运行成本过高的缺陷，而且保持了专利号为03116389.0,名称 为一种锌铝真空蒸发锻膜机的设备的特性，又克服了只能在非导电介质薄膜上进行单面真 空锌铝蒸发镀膜的缺陷，实现在非导电介质薄膜上进行高真空状态下蒸发的双面金属化镀 膜，实现镀膜机的更新换代，极大地提高了国内电子元器件、包装材料的质量品位，特别是提升了国内电子元器件制造与国际先进水平接轨，社会效益和经济效益明显。
四、附图说明：
附图1为本发明高真空蒸发双面金属化镀膜机的结构示意图;
附图2为附图1的局部A-A剖面传膜机构结构示意图。
其中：1、底架;2、主机架;2-1、副机架;3、冷冻柜;4、传膜架机箱;5、 传膜机构;5-1、主轴;5-2、展平轴;5-3、放卷轴;5-4、收卷轴;5-5、导向轴;5-6、 起重架;6、真空室;7、扩散泵;8、滑阀泵;9、罗茨泵;10、阀门;10-1、阀门;
11、罗茨泵;12、增压泵;13、增压栗;14、罗茨泵;15、滑阀泵;16、卷绕室;17、 蒸发源;17-1、锌坩锅;‘17-2、铝坩锅;18、加热控制箱;19、镀膜室;20、网格板; 21、屏蔽支架。
五、具体实施方式：
以下用不同的连接方式对本发明高真空蒸发双面金属化镀膜机作进一步描述：
实施例1:
见附图1,实行电脑控制的整机座落在底架1上，底架1上设有轨道，通过主机架2 的滚轮可以将座落在主机架2上的冷冻柜3、与冷冻柜3并接的传膜架机箱4和传膜 架机箱4上设有主轴5-1、展平轴5-2、放卷轴5-3、收卷轴5-4、导向轴5-5、屏蔽支 架21沿轨道运动，真空室6包括网格板20相隔并相通的卷绕室16、镀膜室19两部 份，固定于底架1上，真空室6的卷绕室16的开口朝向主轴4和传膜机构5，镀膜 室19的开口朝向蒸发源17，蒸发源17上按先后分别置有锌坩埚17-1、铝坩锅17-2， 蒸发源17固定在加热控制箱18侧壁，加热控制箱18和蒸发源17可以通过副机架 2-1的滚轮经轨道在底架1上移动，真空室6外接第一真空系统，通过管道扩散泵7接 通镀膜室19，然后加入阀门接通罗茨泵11，阀门10和罗茨泵11间并接管道连通真空 室内，阀门10与真空室的卷绕室16相通，罗茨泵11接通罗茨泵9，罗茨泵9外再 接入滑阀泵8，滑阀泵8另一端与大气相通;同时，第二真空系统由二台增压泵12、13 并联，由管道、阀门10-1连通真空室6的卷绕室16，另一端通过管道连接罗茨泵14 和滑阀泵15，滑阀泵15的另一端与大气相通，起重架5-6装置在传膜架机箱4上端, 用于起吊锻膜所需的物件。
根据附图1，整机实行电脑控制，起重架5-6吊起整卷塑料薄膜，装入传膜机构5 的储膜架上，经二主轴将塑料薄膜移至传膜架机箱4的收卷轴上;冷冻柜3起动，通过管件进入二主轴作循环运动，使主轴冷却至-io°c;设在主机架右侧的机件，包括二主轴、 冷冻柜3、屏蔽支架21在内，参照附图2，通过滚轮在底架1的轨道上向前行进，膜 经过二主轴及导向轴、展平轴的传动，主轴底下的蒸发源将膜正、反两面都镀上金属膜。 使传膜机构5、屏蔽支架21和传膜机构5上的塑料薄膜分别进入真空室6的卷绕室 16和镀膜室19，推紧密封后停止工作;同时，设在副机架2-1上的加热控制箱18和 与其固定的蒸发源17带着锌坩锅17-1、铝坩锅17-2通过滚轮沿轨道进入镀膜室19， 此时的锌坩锅17-1温度恒定在515°C±10，350mm±10/s速度送丝;铝坩锅17-2温 度恒定在1500°C±10，推进至密封位置后停止推进，使锌、铝蒸发成气体;打开阀门10、 10-1，第一真空系统启动，第二真交系统启动，抽取真空室6的空气成真空，镀膜室19 达-4X1CT4，卷绕室16达-6XlO_2，关闭阀门10、10-1保压，主轴5-1转动，以8m/s 速度转动，收卷轴5-4开始收卷，先在塑料薄膜上镀铝后，再在铝膜上镀锌，中间根据 尺寸要求，按产品要求设定的时间，起动屏蔽支架21，遮住塑料薄膜，铝、锌无法着床， 锌铝膜被切断，得到塑料薄膜上被间隔切断的整卷锌铝薄膜•，打开阀门10、10-1真空室 6进入空气，恢复大气压力，主机架右侧的机件，包括二主轴5-1、冷冻柜3、屏蔽支架 21在内通过滚轮在底架1的轨道上向后行进，使传膜机构5、屏蔽支架21和传膜机构 5上的塑料薄膜退出真空室6的卷绕室16和镀膜室19,同时冷冻柜3冷冻机停止工 作，起动冷冻柜3的加热装置，力P热二主轴至常温，由打开的真空室6的右边，根据需 要加入铝后，进入下一个工作循坪。
另外，在蒸发过程中，现有技术对于产品留边加厚发现有偏差，必须停车调整，而本 发明在锌坩锅上增设一套位置自动调整装置。
实施例2:
见附图1，第二真空系统为一台增压泵12，由管道、阀门10-1连通真空室6的卷 绕室16,另一端通过管道连接罗茨泵14、滑阀泵15，滑阀泵15的另一端与大气相通， 其余与实施例1相同，不再作重复叙述;
本发明的特点是：由于采用r：主轴5-1，镀膜过程中传膜机构使膜走向的改变，从 现有技术的只能单面镀膜变为双面镀膜，实现了镀膜机的更新换代，极大地提高了国内电 子器材、包装材料的等级和水平。
