超声波抛光就是将零件放在磨料悬浮液中，然后放进有超声波场的装置内。依靠超声波的振荡作用使磨料在零件表面起磨削抛光作用，而成为一种新的抛光方法。抛光中使用的磨料有尺寸为200～2000目的氧化铝、碳化硼、碳化硅及金刚砂粉末等。粉末越细，抛光出来的表面越光滑。例如，用200目的磨料粉可获得Ra0.5um的光亮度，而用800目的磨料粉可获得Ra0.2um的光亮度。
超声波技术也可以和化学抛光、电解抛光结合成复合抛光的加工方法，即在化学、电解抛光作用的基础上，再加上超声波振荡、搅拌抛光溶液，使工件表面的溶解物快速扩散，表面附近的介质均匀，起到提高抛光效率，保证质量的作用。
