在以磷酸、硫酸、硝酸为基本成分的化学抛光溶液中进行化学抛光的机理如下。
铝在热的浓酸中发生强烈的浸蚀反应，由于浓酸中有硝酸的存在，能使铝形成一层极薄的氧化铝膜层，使铝产生了钝化作用，这时铝的表面暂时受到了保护，但此氧化膜又会受到抛光溶液中磷酸和硫酸的溶解，而后硝酸又会立即与铝基体发生钝化作用，再重新形成一层新的氧化膜。
由于硝酸的钝化作用遏制了铝表面的酸性浸蚀，尤其是遏制了铝材表面凹陷处的酸性浸蚀，为此，硝酸对化学抛光起到了至关重要的作用。
从上述反应机理，可见在化学抛光溶液中，随着硝酸含量的升高，金属铝的溶解速度随之降低，硝酸的钝化作用明显加强，但当硝酸含量继续升高到一定浓度时，铝的溶解速度又会迅速急剧上升，浸蚀反应会变得非常剧烈，至此表面会变得非常粗糙。
硝酸含量在6％～8％时，铝的溶解速度最低。在这一范围内铝的表面受到钝化过程控制。
