【专利号(申请号)】200510050067.7
【公开(公告)号】CN1727889
【申请人(专利权)】浙江大学
【申请日期】2005-6-14 0:00:00
【公开(公告)日】2006-2-1 0:00:00
本发明公开了一种基于气体在纳米间隙中的电离来实施气敏检测的微型气体传感器。本发明采用在线阻抗监测电镀法来制备具有纳米间隙的金属电极对，所制备的微型气体传感器包括绝缘基底和在绝缘基底上设置一电极对，电极对中两电极的间隙为1纳米至999纳米。本发明的微型气体传感器采用纳米间隙，可以在较低的外加电压下产生强电场，然后通过不同的电离电压和电离电流来实施气敏检测，大大简化了微型，便携式气体传感器的制备，可广泛应用于在有毒有害气体报警，气相色谱等领域。
