【专利号(申请号)】200610023143.X
【公开(公告)号】CN1817783
【申请人(专利权)】上海纳晶科技有限公司;华东师范大学
【申请日期】2006-1-6 0:00:00
【公开(公告)日】2006-8-16 0:00:00
本发明涉及医疗器械和生物材料应用技术领域，具体的说是一种微针头的制造方法，其工艺步骤为：硅的微机械方法设计制作实心模具：首先制作腐蚀微针头模具所需的掩模，掩模材料采用厚度为1-3微米的厚氧化硅或Si3N4；通过光刻确定掩模的图形和微针头的中心位置；采用 100晶向的Si制作针头硅模具、模具表面处理、电镀、针头和模具的分离工艺。本发明与现有技术相比，工艺简单，针头模具可反复使用，成本低廉，极具实用价值，值得推广。
