摘 要:碳纳米管是场发射阴极的极佳材料。基于碳纳米管和金属铜的复合电镀技术，采用有限元软件对压力传感器的碳纳米管布设进行了有限元仿真，使用模拟退火算法对阳极变形膜的尺寸进行了优化，并设计了实现压力传感器的工艺过程。碳纳米管的管径在不影响电镀质量的情况下可尽量小，选取的长度不影响直立，间距在500nm时可获得最大电流。阳极膜的压力窗最优厚度为0．20984mm，窗口长度4．9178mm，此时阳极膜的变形和应力均处于最大值。通过可行性工艺的执行，可制造出体积小、质量轻、灵敏度高的压力传感器。[著者文摘]
