电镀永磁体方法用于制作振动膜式微驱动器

摘　要:阐述了利用电镀制作磁体微结构的方法，采用这一工艺方法制作了一种基于硅橡胶薄膜（PDMS，polydimethyl siloxane）和CoNiMnP永磁体阵列的双向微型电磁驱动器，由振动膜层和线圈层构成。微驱动器中磁体阵列中每一个小磁体块的尺寸为50μm×50μm×20μm，其矫顽力、剩磁和最大磁能积分别为2623 Oe（208．73kA／m）、0．2T（2000G）和10．15kJ／m^3。[著者文摘]

电镀永磁体方法用于制作振动膜式微驱动器.pdf