光梯尺（光楔表）的正确使用

发布日期：2012-05-10 浏览次数：412 关注：加关注

核心提示：光梯尺（光楔表）的正确使用

摘　要:光梯尺最早由美国杜邦公司传入我国，始于20世纪70年代，当时是用干膜抗蚀剂经过曝光显影后作为图型抗蚀刻或抗电镀的掩膜，曝光测试工具随杜邦生产的”瑞斯顿”光致抗蚀干膜进入我国市场，17级的光梯尺则是专门为杜邦“瑞斯顿”光致抗蚀剂干膜而设计的曝光辅助工具。[第一段]

关键词： 关键词:美国杜邦公司干膜抗蚀剂光致抗蚀剂光楔测试工具辅助工具抗电镀曝光

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