类LIGA工艺的精微注塑成型

发布日期：2012-05-10 浏览次数：491 关注：加关注

核心提示：类LIGA工艺的精微注塑成型

摘　要:对带有微型结构模式制件的注塑成型工艺，采用类LIGA精微注塑成型是一种低成本高成效的途径。详细阐述了制备模制件骨架的类LIGA工艺。在研究中使用了一个有圆形模制骨架的双板模型，且在骨架上电镀了细微结构。通过实验得出采用类LIGA注塑成型的诸多优点。[著者文摘]

关键词： 关键词:注塑成型 LIGA工艺光致抗蚀剂细微结构电镀

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