摘 要:介绍了用电镀法制备Pb/Sn凸点的工艺,包括:凸点的设计,圆片的准备,溅射UBM(凸点下金属层),厚膜光刻,电镀Cu柱,Pb/Sn凸点,回流凸点等。结果表明:采用电镀法可以得到球形Pb/Sn凸点,50μm的厚胶工艺是可行的。
Pb/Sn凸点的制备.pdf