摘 要:报道了新一代紫外光源－激发态双分子（Excimer) 紫外光源在制备金属薄膜材料方面的应用研究。金属钯是一种优良的催化剂，首先在各种衬底如Al2O3、AIN、玻璃以及聚合物等上面淀积靶的金属有机化合物薄膜，通过紫外分解钯的金属有机化合物，形成数埃到十几埃的钯膜，然后再利用钯的催化效应，在无电极电镀液中沉积出几十纳米到几微米厚的各种金属薄膜（如Cu、Au、Ni等）。
摘 要:报道了新一代紫外光源－激发态双分子（Excimer) 紫外光源在制备金属薄膜材料方面的应用研究。金属钯是一种优良的催化剂，首先在各种衬底如Al2O3、AIN、玻璃以及聚合物等上面淀积靶的金属有机化合物薄膜，通过紫外分解钯的金属有机化合物，形成数埃到十几埃的钯膜，然后再利用钯的催化效应，在无电极电镀液中沉积出几十纳米到几微米厚的各种金属薄膜（如Cu、Au、Ni等）。
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