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用于微机械器件的电镀Fe—Ni合金薄膜的研究

放大字体  缩小字体 发布日期:2012-05-13  浏览次数:516   关注:加关注
核心提示:用于微机械器件的电镀Fe—Ni合金薄膜的研究

摘 要:本文考察了非常规Fe-Ni合金电镀中,溶液浓度、电流密度、PH值和温度等因素对电镀的影响。实验结果表明,Fe-Ni合金电镀的异常性是由于Fe(OH)2对铁离子和镍离子的还原反应有着不同的阻碍作用和程度。用X射线平移法对Fe-Ni合金镀层的残余应力与电镀参数之间的关系进行了研究,并讨论了薄膜微结构与应力的关系。

用于微机械器件的电镀Fe—Ni合金薄膜的研究.pdf
 

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