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用于微电子封装的化学镀纯镍工艺

放大字体  缩小字体 发布日期:2012-05-14  浏览次数:477   关注:加关注
核心提示:用于微电子封装的化学镀纯镍工艺

摘 要:研究了一种能获得厚的纯镍化学镀溶液,讨论了溶液中各种化学成分、操作温度、稳定剂对沉积速度的影响,在此基础上确定了最佳配方及操作程序。对电子元件引线镀镍镀金后的拉力进行了测试,对镀层硬度、方阻进行了测定。此方法适用于电子封装中W、Mo-Mn金属化及Cu、Ni,可伐等金属上的镀覆。

用于微电子封装的化学镀纯镍工艺.pdf
 

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