有效的镓薄膜电镀方法及化学品

公开日 20080403

发明人 SERDAR A, WANG J X, BASOL B M

申请人 Solopower, Inc.

涉及镓薄膜的电镀方法和化学品，可沉积获得均匀、无缺陷、光滑的镓薄膜，电镀效率高，重现性好。所得膜层可用于制造电子器件，如薄膜太阳能电池。在一个实例中，提供了一种用于半导体的镀液，其中含有镓盐、配位剂和溶剂。采用该镀液在半导体上获得了具有亚微米厚度的镓膜。镀液中还可添加铜盐或(和)铟盐。