英文名称： Vacuum sputtering coating plant
替代情况： 替代JB/T 8945-1999
中标分类： 机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
ICS分类： 流体系统和通用件>>23.160真空技术
发布部门： 中华人民共和国工业和信息化部
发布日期： 2010-02-11
实施日期： 2010-07-01
归口单位： 全国真空技术标委会
起草单位： 广东中环真空设备有限公司;成都南光机器有限公司;大连远东真空技术有限公司;沈阳真空技术研究所
出版社： 机械工业出版社
出版日期： 2010-07-01
