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超窄带通光学薄膜滤光片及膜层厚度产生方法

放大字体  缩小字体 发布日期:2012-10-13  浏览次数:672   关注:加关注
核心提示:本发明提供了一种超窄带通光学薄膜滤光片,包括在一光学玻璃衬底上,依次真空蒸镀由低折射率的无序性膜层与高折射率的无序性膜层

本发明提供了一种超窄带通光学薄膜滤光片,包括在一光学玻璃衬底上,依次真空蒸镀由低折射率的无序性膜层与高折射率的无序性膜层交替叠层多次组成的底层薄膜﹑由高折射率的无序性膜层与中间折射率的无序性膜层交替叠层多次组成的中间层薄膜和由高折射率的无序性膜层与中间折射率的无序性膜层交替叠层多次组成的顶层薄膜。无序性膜层是由随机涨落的方法产生的。由于这种膜系大大地降低了对制备中各层涨落控制上的精度要求,它非常适合于对这类滤光片成品率的提高或对制备这类滤光片设备要求的降低,有利于制备高质量的超窄带通光学薄膜滤光片。

完成单位:中国科学院上海技术物理研究所

联系电话:(021)65449350

邮政编码:200083

成果类别:应用技术

成果水平:国内领先

限制使用:国内

成果密级:非密

鉴定日期:20031215

应用行业:电子器件制造

转让方式:其他

分类号:TN21

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关键词: 光学薄膜 膜层厚度
 
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