标王 热搜: 五金  镀锌  酸铜  镀镍  镀铜  镀铬  三价铬  镀金  镀银  配方 
 
当前位置: 首页 » 技术 » 专利信息 » 正文

电化学机械沉积的方法和装置.pdf

放大字体  缩小字体 发布日期:2010-07-07  浏览次数:417   关注:加关注
核心提示:电化学机械沉积的方法和装置.pdf

【专利号(申请号)】99814126.7

【公开(公告)号】CN1329681

【申请人(专利权)】纳托尔公司

【申请日期】1999-11-2 0:00:00

【公开(公告)日】2002-1-2 0:00:00

本发明把电解液里的导体材料沉积到晶片的预定区域上。作出本申请所用的步骤包括当该晶片被置于阴极和阳极之间时,应用在晶片表面上的电解液,把导体材料镀到晶片的预定区域上,并且在电镀导体材料时,通过对其它区域进行机械抛光,阻止导体材料积累到不是预定区域的区域上。

电化学机械沉积的方法和装置.pdf
 

分享到:
 
关键词: 化学机械
 
[ 技术搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告诉好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 关闭窗口 ]
 

 
点击排行
推荐技术
推荐图文
 
网站首页 | 关于我们 | 联系方式 | 使用协议 | 版权隐私 | 网站地图 | 排名推广 | 网站留言 | RSS订阅
                 »¦¹«θ±¸ 310100103613