摘 要:文章简要了介绍脉冲电镀原理,优点,并详细讨论了脉冲电镀用于薄膜混合集成电路金导带选择加厚的方法,同时研究了掩膜制作 技术及脉冲电镀时的影响因素,最后对加厚导带的光刻方法进行了讨论。
脉冲选择电镀金加厚工艺技术研究.pdf