机载雷达罩曲面FSS阵图形制作研究

发布日期：2012-05-13 浏览次数：497 关注：加关注

核心提示：机载雷达罩曲面FSS阵图形制作研究

摘　要:采用电镀铜箔蚀永不地和图形电镀反贴法，研究了雷达工面ＦＳＳ阵图形制作工艺，解决了液态光抗蚀油墨的立体涂布、底片分割贴装、旋转狭缝曝光及蚀刻问题；另外还解决了图形电镀、压模反贴问题。图形精度分别达到±０．０８ｍｍ和±０．０６ｍｍ，满足≤±０．１０ｍｍ的图形公差要求。

关键词： 关键词:FSS雷达罩图形蚀刻图形电镀反贴

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